Análisis de microestructura y evaluación de materiales semiconductores.
Introducción al servicio
Con el desarrollo continuo de circuitos integrados a gran escala, el proceso de fabricación de chips se vuelve cada vez más complejo y la microestructura y composición anormales de los materiales semiconductores dificultan la mejora del rendimiento del chip, lo que plantea grandes desafíos para la implementación de nuevos semiconductores e integrados. tecnologías de circuitos.
GRGTEST proporciona análisis y evaluación integrales de la microestructura de materiales semiconductores para ayudar a los clientes a mejorar los procesos de semiconductores y circuitos integrados, incluida la preparación de perfiles de nivel de oblea y análisis electrónicos, análisis integrales de propiedades físicas y químicas de materiales relacionados con la fabricación de semiconductores, formulación e implementación de análisis de contaminantes de materiales semiconductores. programa.
Alcance del servicio
Materiales semiconductores, materiales orgánicos de moléculas pequeñas, materiales poliméricos, materiales híbridos orgánicos/inorgánicos, materiales inorgánicos no metálicos.
programa de servicio
1. La preparación del perfil a nivel de oblea del chip y el análisis electrónico, basados en la tecnología de haz de iones enfocado (DB-FIB), el corte preciso del área local del chip y la obtención de imágenes electrónicas en tiempo real, pueden obtener la estructura, composición y otros datos del perfil del chip. información importante del proceso;
2. Análisis integral de las propiedades físicas y químicas de los materiales de fabricación de semiconductores, incluidos materiales poliméricos orgánicos, materiales de moléculas pequeñas, análisis de composición de materiales inorgánicos no metálicos, análisis de estructuras moleculares, etc.;
3. Formulación e implementación de plan de análisis de contaminantes para materiales semiconductores.Puede ayudar a los clientes a comprender completamente las características físicas y químicas de los contaminantes, incluidos: análisis de composición química, análisis de contenido de componentes, análisis de estructura molecular y otros análisis de características físicas y químicas.
Artículos de servicio
| Serviciotipo | Servicioelementos |
| Análisis de composición elemental de materiales semiconductores. | l Análisis elemental EDS, l Análisis elemental de espectroscopia fotoelectrónica de rayos X (XPS) |
| Análisis de la estructura molecular de materiales semiconductores. | L análisis del espectro infrarrojo FT-IR, l Análisis espectroscópico de difracción de rayos X (DRX), l Análisis pop de resonancia magnética nuclear (H1NMR, C13NMR) |
| Análisis de microestructura de materiales semiconductores. | l Análisis de corte de haz de iones de doble enfoque (DBFIB), l Se utilizó microscopía electrónica de barrido por emisión de campo (FESEM) para medir y observar la morfología microscópica. l Microscopía de fuerza atómica (AFM) para observación de la morfología de la superficie. |
