Análisis de microestructura y evaluación de materiales semiconductores

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Introducción al servicio

Con el desarrollo continuo de circuitos integrados a gran escala, el proceso de fabricación de chips se vuelve cada vez más complejo y la microestructura y composición anormales de los materiales semiconductores obstaculizan la mejora del rendimiento del chip, lo que genera grandes desafíos para la implementación de nuevas tecnologías de semiconductores y circuitos integrados.

GRGTEST proporciona un análisis y una evaluación integral de la microestructura de materiales semiconductores para ayudar a los clientes a mejorar los procesos de semiconductores y circuitos integrados, incluida la preparación del perfil a nivel de oblea y el análisis electrónico, el análisis integral de las propiedades físicas y químicas de los materiales relacionados con la fabricación de semiconductores, la formulación e implementación del programa de análisis de contaminantes de materiales semiconductores.

Alcance del servicio

Materiales semiconductores, materiales orgánicos de moléculas pequeñas, materiales poliméricos, materiales híbridos orgánicos/inorgánicos, materiales inorgánicos no metálicos

Programa de servicio

1. La preparación del perfil a nivel de oblea del chip y el análisis electrónico, basados en la tecnología de haz de iones enfocado (DB-FIB), corte preciso del área local del chip e imágenes electrónicas en tiempo real, pueden obtener la estructura del perfil del chip, la composición y otra información importante del proceso;

2. Análisis integral de las propiedades físicas y químicas de los materiales de fabricación de semiconductores, incluidos materiales poliméricos orgánicos, materiales de moléculas pequeñas, análisis de composición de materiales inorgánicos no metálicos, análisis de estructura molecular, etc.;

3. Formulación e implementación de un plan de análisis de contaminantes para materiales semiconductores. Esto ayuda a los clientes a comprender plenamente las características físicas y químicas de los contaminantes, incluyendo el análisis de la composición química, el análisis del contenido de componentes, el análisis de la estructura molecular y otros análisis de características físicas y químicas.

Artículos de servicio

Serviciotipo	Servicioelementos
Análisis de la composición elemental de materiales semiconductores	l Análisis elemental EDS, l Análisis elemental por espectroscopia fotoelectrónica de rayos X (XPS)
Análisis de la estructura molecular de materiales semiconductores	l Análisis del espectro infrarrojo FT-IR, l Análisis espectroscópico de difracción de rayos X (DRX), Análisis de resonancia magnética nuclear (H1NMR, C13NMR)
Análisis de microestructura de materiales semiconductores	l Análisis de cortes con haz de iones de doble enfoque (DBFIB), l Se utilizó la microscopía electrónica de barrido por emisión de campo (FESEM) para medir y observar la morfología microscópica, l Microscopía de fuerza atómica (AFM) para la observación de la morfología de la superficie